SENSIRION液體流量計SLQ-QT105針對半導(dǎo)體應(yīng)用
SENSIRION液體流量計SLQ-QT105系列針對要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做，是高達(dá)120 ml/min流量的烴基液體的半導(dǎo) 體級-傳感器解決方案。

該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術(shù)，開辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速 響應(yīng)時間有助于高度動態(tài)過程的準(zhǔn)確監(jiān)測，如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件，無運動部件，通過一 個筆直的流道壁進(jìn)行非侵入性測量。所提供的智能數(shù)字接口(如RS485)可實現(xiàn)具有總線能力的遠(yuǎn)距離通訊。

對于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體，請參閱我們的液體流量計SLQ-QT500。

SENSIRION液體流量計SLQ-QT105性能參數(shù)
烴基液體的大流量：120 ml/min
適用于光致抗蝕劑和溶劑
低至低流量的高靈敏度
快速響應(yīng)時間低至30 ms
RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
的耐化學(xué)性
惰性觸液材質(zhì)：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
保證純度
筆直流道，無運動部件
大工作壓力：3 bar（可按要求提供高壓強(qiáng)等級）

SENSIRION液體流量計SLQ-QT500產(chǎn)品簡介
針對高達(dá)120毫升/分鐘和高粘度流體的多功能液體流量計
SLQ-QT500具有高達(dá)120毫升/分鐘的流量范圍，適合基于水和碳?xì)浠衔镆后w，如醇類、溶劑、油、燃料和粘合劑 。該傳感器是測量含有顆?；蚋哒扯纫后w的~選。SLQ-QT500與SCC1傳感器電纜組合，便于集成到半導(dǎo)體行業(yè)高要 求的鍍膜涂層系統(tǒng)，以及其他行業(yè)的液體分配和液體流量檢測系統(tǒng)中。

高靈敏度和測量速度為快速分配過程的監(jiān)控提供了新的可能性。傳感器使用水或異丙醇（IPA）標(biāo)定。因熱式測量 原理和大內(nèi)徑，SLQ-QT500的測量性能并不取決于粘度本身，所以沒有嚴(yán)格的粘度上限或下限（如高達(dá)~1000  mm2/s的運動粘度）。只要顆粒不會擦傷石英玻璃管，SLQ-QT500對于含有小顆粒的液體也很理想。

管接頭的觸液材質(zhì)是PFA，內(nèi)流通道的觸液材質(zhì)是石英玻璃。與Sensirion其他液體流量計一樣，這種可靠的器件 無運動部件，可通過筆直的流壁測量。

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